CMF9000系列數顯氣體質量流量表是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。該流量表采用本公司自主研發的微機電（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各種清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現對流量計的靈活配置與參數查詢。CMF9000具備LED數字顯示和按鍵功能，允許用戶在現場調整或查詢流量表的參數。
產品特點：
? 靈敏度高，有極小的始動流量；? 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了流量計的高精度計量；? 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了100：1甚至更高：? 各種連接方式，易于安裝與使用；? 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓：? LED顯示瞬時流量和累積流量，尣許現場用鍵盤配置流量計參數：? 可記錄自上電以來瞬時流量的最大值和最小值，具有超量程指示功能；? 零點穩定度高；? 全量程高穩定性、高精確度和優良的重復性：? 低功耗、低壓損；? 響應速度快。
性能參數：
功能項
CMF9000系列數顯型氣體質量流量計
性能參數
單位
備注
規格
CMF9005
CMF9008
CMF9019
通經
5
8
19
mm
量程比
100:1
供電電源
7~24VDC,50mA
VDC
可定制
精度
±1.5
%FS
重復性
0.25
%
響應時間
67（默認）
ms
最大壓力
0.5（可定制最大0.8）
MPa
通訊方式
RS485(MODBUS)
輸出方式
模擬輸出1-5
4-20mA
選配
顯示方式
瞬時流量：SLPM；累計流量：SL
溫度
介質溫度(-10~65)，環境溫度(-25~85)
℃
工作濕度
<100%RH(無結冰、無凝露)
重量
0.245
0.215
0.395
kg
接口
G3/8
校準條件
空氣，20℃, 101.325kPa
外形尺寸：
產品應用：
? 工業
? 醫療
? 石油
? 儀器儀表
? 實驗室
? 燃氣
? 化工
? 冶煉
? 食品加工
? 機電設備
